中图仪器白光干涉表面三维轮廓仪测量粗糙度

SuperViewW1白光干涉表面三维轮廓仪非接触式表面粗糙度自动测量仪器采用非接触式的方式，在检测过程中不会划伤器件表面，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

结果组成

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；
3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；
6、微电子表面分析和MEMS表征。

部分参数

Z向分辨率：0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性：0.1nm
表面形貌重复性：0.1nm
台阶测量重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%

 

主要应用领域

1、用于太阳能电池测量；
2、用于半导体晶圆测量；
3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；
4、用于机械部件的计量；
5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。

测量应用

在3C领域，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；
在LED行业，可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；
在光纤通信行业，可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；
在集成电路行业，可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行业，可以测量台阶高度和表面粗糙度；
在军事领域，可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

SuperViewW1白光干涉表面三维轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能，分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。