白光干涉仪检测仪器

部分参数
Z向分辨率：0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性：0.1nm
表面形貌重复性：0.1nm
台阶测量:重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%

主要应用领域
1、用于太阳能电池测量；
2、用于半导体晶圆测量；
3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；
4、用于机械部件的计量；
5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。

SuperViewW1白光干涉仪检测仪器X/Y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。