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 湿电子化学品是电子行业湿法制程的关键材料。湿电子化学品属于电子化学品 领域的一个分支，是微电子、光电子湿法工艺制程（主要包括湿法蚀刻、清洗、显 影、互联等）中使用的各种液体化工材料。超净高纯试剂是在通用试剂基础上发展 起来的纯度最高的试剂，其杂质含量较优级试剂低几个数量级。湿电子化学品是对 “电子级试剂”、“超净高纯化学试剂”更为合理准确的表达。国内的超净高纯试剂， 在国际上通称为工艺化学品（Process Chemicals）， 在美国、欧洲和我国台湾地区称 为湿化学品（Wet Chemicals），是指主体成分纯度大于 99.99%，杂质离子和微粒数 符合严格要求的化学试剂，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能和可靠 性有十分重要的影响。

 

按照组成成分和应用工艺不同，湿电子化学品可分为通用性和功能性湿电子化 学品。通用湿电子化学品以超净高纯试剂为主，一般为单组份、单功能、被大量使 用的液体化学品，按照性质划分可分为：酸类、碱类、有机溶剂类和其他类。酸类 包括氢氟酸、硝酸、盐酸、硫酸、

乙酸乙酯等；其他类包括双氧水等。功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配 类化学品，即在单一的超净高纯试剂（或多种超净高纯试剂的配合）基础上，加入 水、有机溶剂、螯合剂、表面活性剂混合而成的化学品。例如剥离液、显影液、蚀 刻液、清洗液等。由于多数功能湿电子化学品是复配的化学品，是混合物，它的理 化指标很难通过普通仪器定量检测，只能通过应用手段来评价其有效性。